微注塑模具制备技术

跨尺度光学

所谓微注塑模具，一般指整体尺寸或局部尺寸小于1mm，微模具微细尺寸从几微米到几百微米之间，粗糙度在50nm以内。

一般加工方法有：

去材加工：激光切割、精细铣削、微电火花、超精密车削、微光刻加工；

一般光学级模芯需要精细铣削和超精密车削，因为这两种手段更能控制光学面型；

增材加工：MEMS；

技术正在发展，目前市场不成熟。

硬件发展的同时，还需要软件配套。微注塑收缩问题，如何进行补偿加工是一大难点。

曲面菲涅尔

微柱透镜阵列

菲涅尔模具